21世紀經濟報道記者張賽男 實習生徐蕊 上海報道

絲毫不受減持半導體龍頭的影響，國家集成電路產業投資基金股份有限公司(簡稱“大基金”)二期馬不停蹄地再次布局半導體領域。

10月18日晚間，至純科技（603690.SH）公告，公司控股子公司至微半導體 ( 上海 ) 有限公司 ( 簡稱“至微科技 ” ) 擬通過增資擴股引入戰略投資者并進行部分股權轉讓。

根據公告，本次新引入的戰略投資者共有8家，合計向至微科技增資4.2億元。其中就包括大基金二期，其余增資方也均來頭不小。

10月19日，至純科技方面回應媒體稱，本次引入戰投主要是以擴大濕法設備生產為主，目前的計劃是5年200臺。

至純科技有何過人之處，引來大基金二期的青睞？21世紀經濟報道記者此前報道指出，大基金雖然時有減持計劃流出，但并未整體退出半導體領域，而是做了結構性的調整，尤其是轉移到上游急缺資金卡脖子的制造和代工、設備等領域。那么，大基金目前在后者的布局如何？ 

至純科技是何方神圣？

根據公告，至微科技本次擬引入投資方包括：遠致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯誠股權投資合伙企業（有限合伙）、上海芯晟至遠企業管理合伙企業（有限合伙），合計向至微科技增資4.2 億元，其中7644萬元計入注冊資本，其余34356萬元計入資本公積。

本次增資前，至微科技注冊資本為4.55億元，估值25億元（增值率485.36%），對應5.4945元/注冊資本。增資后，至純科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金、芯鑫鼎橡分別持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股權。

按上述比例測算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、裝備材料基金的投資金額分別為1億元、1億元、5000萬元、3000萬元。

實際上，除了大基金二期，其余增資方也背景深厚。

其中，混改基金（中國國有企業混合所有制改革基金）是經國務院批準設立的“國家級”基金，基金總規模2000億元，首期募集資金就達到707億元。中芯聚源（中小企業發展基金（紹興）股權投資合伙企業）的背后則有國資和中芯國際。裝備材料基金（上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業）的股東也有國家大基金的身影，重點圍繞集成電路裝備材料產業開展投資。

至純科技為何能引來這么多明星資本的青睞？從其主營業務來看，正是國家大基金二期重點投資的半導體設備領域。

公開資料顯示，至純科技主營業務包括高純工藝系統、半導體濕法清洗設備、光傳感應用及相關光學元器件，而旗下至微科技的主業就是半導體濕法清洗設備。

公司稱，至微科技成立以來，累計已獲得來自各大集成電路制造領先企業的濕法設備訂單超過160臺，成為國內濕法設備的主要供應商之一。此次引入戰投，是為進一步加快實現至微科技成為國內濕法設備領頭羊的戰略目標，提高產業資源整合能力。

上半年公開數據顯示，至純科技的半導體設備在快速增長。上半年公司新增訂單中半導體板塊新增訂單14.2 億元，其中濕法設備新增訂單4.3億元，達到上一年度全年濕法設備訂單的 85%，其中單片設備新增訂單2億元。

安信證券電子行業分析師馬良向記者指出，“此次戰投股東名單涵蓋了國內頂級的半導體投資基金，表明了市場對于公司未來發展前景的看好。通過此次增資，公司不僅增強了資金實力，還有利于公司與國內頭部半導體公司加強產業合作，公司半導體清洗設備發展有望加速。”

加速布局半導體設備領域

目前半導體設備本土生產上升到國家戰略層面，半導體設備也被公認為最“卡脖子”的環節之一。

就工藝而言，清洗是貫穿半導體產業鏈的重要工藝環節，每一代制程升級將帶來平均15%的清洗步驟增長，重要性凸顯。據臺灣工研院數據，2020年半導體清洗設備市場空間49億美元，2025年將達67億美元。當前全球清洗設備市場由日韓巨頭壟斷，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam四家廠商占據了90%以上的市場份額。

根據信達證券的研報，國內有至純、北方華創、盛美、芯源微四家廠商重點布局，當前濕法清洗設備國產化率約達20%。

公告顯示，至純科技已具備生產8-12寸高階單晶圓濕法清洗設備和槽式濕法清洗設備的相關技術，目前已可以提供28nm節點的全部濕法工藝設備，首批次單片濕法設備已交付并順利通過驗證。

作為半導體清洗設備的重點廠商之一，至純科技受到頂級產業基金的青睞也就不足為奇。

21世紀經濟報道記者梳理發現，就目前大基金二期的布局來看，已經重點向設備領域傾斜。

據啟信寶數據，除了至純科技，目前大基金二期公開投資項目已有12個，包括：杭州長川智能制造公司、潤西微電子（重慶）有限公司、中芯南方集成電路制造有限公司、思特威（上海）電子科技股份有限公司、珠海艾派克微電子有限公司、紫光展銳（上海）科技有限公司等。其中有4家與半導體設備相關，4家與晶圓制造相關。

申港證券分析師曲一平此前向記者指出，大基金二期的投資同樣覆蓋了芯片設計、制造、封測、材料以及設備等產業鏈環節，但可看到目前仍較多投向了制造環節，更聚焦設備、材料領域，加大投資。

目前，大基金二期對上述總投資已近300億元，背后涉及的上市公司有長川科技、長鑫存儲、中芯國際、納斯達、華潤微等。